
来源:lewan体育 发布时间:2026-10-16 13:04:01
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深圳鹏城实验室在第六届学术活动周期间正式对外发布“超级光直连体系与光芯片”系列技能效果,国产光芯片工艺渠道“河套线”同步通线。
这是国内罕见的面向光通信异质集成光芯片工艺的量产技能验证渠道,标志着国产光芯片在高端制作环节迈出要害一步。
“河套线”全称为特大容量光通信高性能异质集成光芯片工艺渠道,落址于深圳河套深港科技立异协作区。渠道建造有超1000平方米全百级超净实验室,选用“硅光无源工艺+晶圆级异质集成工艺”技能道路,搭建起紫外光刻、薄膜堆积、干法刻蚀及晶圆级多资料直接键合等完好模块化工艺才能。
现在,渠道已完结高速薄膜铌酸锂调制器芯片制备,以及硅基III-V族、硅基薄膜铌酸锂的晶圆级异质键合工艺验证,具有为光通信、光互连等范畴供给定制化新资料前沿工艺的验证才能。
在中心光芯片器材层面,团队根据28nm CMOS工艺节点打破100GHz宽带放大器,研发出世界首个单波400G PAM-4全CMOS工艺光电集成发射机。慎重还研宣布O、S、C、L波段一体化外腔窄线宽可调谐激光器,调谐掩盖规模达300nm。
体系效果相同亮眼。该团队研发的直调直检800G密布波分复用光模块,完成单纤16Tb/s实时传输,容量是现在商用直调直检计划的20倍。
此外,项目还完成了24.8Tb/s、1.2万公里超长间隔空芯光纤传输,以及20.2Pb/s实韶光交流体系,可慎重支撑316路光纤交流。
鹏城实验室副主任余少华表明,要坚持把房子盖在自家的地基上,把中心芯片和体系的自主权牢牢把握在自己手中。此次效果可为防范算力网规模化布置、跨域算力高效调度供给中心技能支撑。

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